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两者均涉及半导体制造领域的自动化设备研发,均强调多规格适配、高精度控制(如键合偏移量≤3微米、工位盘转动精度±0.1mm)及自动化工艺优化。技术指标中对精度、自动化程度和生产效率的要求高度重叠。
半导体封装车间全自动晶园键合机键合精度提升与多规格工艺适配
¥ 316,000
均聚焦多工位精密加工设备研发,涉及机械结构创新、高精度定位(调节精度±0.05mm)及自动化控制。钼合金加工的材料特性与半导体晶片的精密承载需求在工艺稳定性要求上具有相似性。
钼及钼合金圆片多工位精密切削
¥ 316,000
共享半导体设备研发背景,均强调高精度控制(温度精度±0.1℃、控制精度±0.01mm)及系统可靠性(连续运行稳定性)。技术指标中对多通道协同控制与自动化操作的要求存在关联性。
半导体设备用高精度多通道温度控制器硬件系统研发
¥ 316,000
均围绕多规格产品的自动化产线设计,涉及快速换模(换型时间≤30分钟)、高精度定位(重复定位精度±0.05mm)及生产效率优化(≥100件/小时)。技术路径中对模块化设计与智能化控制的需求具有共通性。
多规格法兰自动化产线开发
¥ 316,000
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